У компании имеется своя разработка оптического монитора по пролетающему свидетелю («Broad Band Optical Monitoring» (BBOM)), которая интегрирована в установки ОАС75 и GTH1150, что позволяет в полном автоматическом режиме напылять сложные многослойные покрытия.
Оптический монитор обладает лучшем в мире спектрофотометром по уровню «Сигнал/Шум». Спектральное разрешение <2.0 нм (по критерию Рэлея). Точность длины волны ±0,25 нм.
Перечень реализованных напылений
Перечень реализованных напылений для УФ, видимого и ближнего ИК диапазонов:
- Высокоотражающие диэлектрические зеркальные покрытия
- Металлодиэлектрические покрытия
- Поляризующие покрытия
- Широкополосные просветляющие покрытия
- Фильтрующие покрытия
- Прозрачные токопроводящие покрытия с сопротивлением до 2 ом/квадрат и -пропусканием в диапазоне 400-800 нм более 90%
- Иные покрытия по спецификации заказчика
Для среднего и дальнего ИК диапазонов:
- Просветление подложек Ge, Al2O3, Si, ZnSe, ZnS в области 3-5 мкм
- Просветление подложек Ge, ZnSe, ZnS в области 8-14 мкм; 3-14 мкм
- Иные покрытия по спецификации заказчика
